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          杰萊特(蘇州)精密儀器有限公司

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          水平離子濺射鍍膜設備

          • 所屬分類:離子濺射鍍膜機

          • 點擊次數:
          • 發布日期:2020/04/21
          • 在線詢價
          詳細介紹

          型號:IBSH-1030


          特點:


          1、基板水平放置,垂直監控;


          2、靶材左右移動,位置和速度可編程控制;


          3、基板:12吋×1 或 6吋×4;


          4、靶材:兩靶,三靶或四靶可更換;


          5、多光路監控。


          6、無膜厚分布修正板

          工藝參數:

          一,真空系統

          1、極限真空度:4.0×10-5Pa 

          2、抽至10Pa所用時間:≦ 10 分鐘

          3、漏率: 3.0×10-5Pa m3/sec

          二,控制精度

          1、靶材旋轉:0.005°

          2、工件旋轉: <1000RPM

          3、編碼器: 12000lines;480000Counts/rev

          4、膜厚修正板:0.005°

          5、擋板:  position switch

          三,光學監控系統OMS

          1、波長范圍:380nm~1650nm

          2、光源穩定性 :白光< 0.1%,激光< 0.02%

          3、波長分辨率: 白光0.2nm,激光0.1nm

          4、波長準確度: 白光0.2nm ,激光0.1nm


                杰萊特擁有領先的真空鍍膜技術,已申請多項zhuanli。生產多種高質量鍍膜設備,同時承攬鍍膜設備的維修和改造以及鍍膜工藝咨詢服務等業務。

                公司生產的各型鍍膜機,是針對特定市場和客戶群體開發的新產品,與目前市場上普遍采用的鍍膜設備相比具備以下突出優勢:單體同步精密監控,實時膜厚分布控制。因此適合做各類高難度鍍膜產品。單片薄膜產品的面積越大,優勢越明顯。而電子束鍍膜機還增加了雙面鍍膜功能,適合半導體激光器的端面鍍膜。

                杰萊特秉承質量第一,信譽至上的理念專注鍍膜行業數十年,我公司將利用自身技術優勢,根據客戶需求,生產各種類型的高端精密鍍膜設備,打破目前在高端鍍膜機市場全部由國外企業壟斷的局面,歡迎各界人士來電咨詢!


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